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针对碳化硅铜烧结与GaN铜烧结工艺,解析热压键合与氮气回焊炉的制程要点。本文从压力温度参数、甲酸环境控制到空洞率抑制,提供量化实操指引,帮助封测厂规避常见工艺陷阱,提升功率模块可靠性。
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