详细介绍
产品功能:
1、适用于半导体集成电路生产过程(后道封装)中片式元器件贴装,也可实现功率芯片与封装器件自动装配功能、可自动贴装、共晶、点胶、蘸胶、粘片、晶圆粘片、倒装、GaAs,粘片压力可编程控制,精度高。 2、采用精密磁悬浮运动平台,主系统X、Y轴采用带有高解析度直线编码器的无接触无摩擦 磁悬浮系统。编码器刻度达0.02μm精度,可实现高速、精密、亚微米级的定位。 3、平台的设计采用高稳定的花岗岩一体化高速运动平台,使KV800在保证热稳定和机械稳定 的同时,实现高速启动时间和+/-0.5μm乃至更好的贴片精度,从而满足高精密的应用要求。 4、具备独立的点胶控制软件进行胶水形状和路径的任意设置,可以实现点、线、平面、非 平面、弧形、圆形等任意形状的点胶。同时配置独立的点胶控制器。点胶控制器有独立的算法, 胶水多的时候,气体压力会根据算法自动加大。胶水少的时候,气体压力会根据算法自动降低压力。实现胶水点胶的一致性。 5、图像识别系统包括两组独立的识别系统。顶部系统配置两组独立的工业相机,实现电路 板MARK点、焊盘的识别,底部系统配置超精密的工业相机,配置10种以上的图像识别算法,可 以实现相关原材料包括特征点、管脚、芯片MARK点、异形件、小型基板等精密识别。 6、贴片机具备自动校准功能,在使用时可以根据要求设置多少次运动之后自动进行X Y轴运 动精度的校准,也可以在发现设备定位不准确时,通过三维自动校准进行运动轴的校准。同时通 过底部图像识别系统,进行点胶机点胶针头和吸嘴的自动校准。 7、旋转角度:设备配置高精密DD马达,具备360度旋转功能,旋转分辨度为0.001度,可以实现组装过程中任意角度的芯片贴装。 8、设备配置精密点胶机,通过软件可以选择用点胶1或2
产品优点:
1.可自由配置的工作区域 龙门构架式设计提供了大工作空间。系统可以从华夫盘,晶圆喂料器和带式喂料器等喂料方式的任意组合取料。晶圆取料时,系统采用马达驱动的、压力受控的升降机构拾取薄芯片和大纵 横比的芯片,并可进行精密补偿。
2.适用于装配的压力控制 KV800配有闭环压力反馈功能,使之可以非常好地处理砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)器 件以及诸如MEMS这样的易碎器件。芯片贴放力可低至10克,因此像空气桥这样的易碎微观结构 不会被破坏。每次贴放的压力均通过编程控制。
3.物料输送 KV800既符合专门的大批量生产的要求,又具有足够的灵活性适应小批量生产。其既可配置为单机生产,采用料盒。
4.先进的图像定位和视觉系统 先进的视觉系统可在360°范围内进行的芯片的快速探测和定位,并具有强大的基片基点校准能力。
5.可编程的多色背景光照明 每台相机的环形光和同轴光的光强度编程可调,从而确定合适的光源以进行芯片对位和识别。多色背景光可用于处理范围宽广的各种材料。红-绿-蓝可编程光源(选配)为加工挑战性的 校准表面(如氧化铝陶瓷上的金线)
技术规格参数
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